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一種高壓研磨器具

申請?zhí)?專利號： 200310109591
本發(fā)明提供一種高壓研磨器具及其使用方法，利用一種具有高壓噴嘴的整理器噴出溶液對研磨墊進行調(diào)節(jié)，避免了現(xiàn)有工藝中為使研磨墊有較好狀態(tài)，需施加一較大的作用力于鉆石整理器，導(dǎo)致晶片表面損傷與鉆石整理器的消耗，本發(fā)明還可配合現(xiàn)有的工藝設(shè)備設(shè)計來使用，并且使用方便。
申請日： 2003年12月18日
公開日： 2005年06月22日
授權(quán)公告日：
申請人/專利權(quán)人： 上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司
申請人地址： 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)郭守敬路818號
發(fā)明設(shè)計人： 黃文忠
專利代理機構(gòu)： 上海光華專利事務(wù)所
代理人： 余明偉
專利類型： 發(fā)明專利
分類號：
B24B37/04;B24B55/00;H01L21/304
標簽：高壓磨    一種高壓研磨器具
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