含鉬和鋁的組件以及在成形靶/背襯板組件中使用中間層的方法

本發明包括一種具有物理氣相沉積靶（１０２）的組件（１３０），其通過層（１０４）與背襯板（１２０）分開，該層主要由鉬和鉭中的一種或兩種構成。本發明還包括一種組件，該組件包括一至少含鋁９９．９％的背襯板，該鋁背襯板通過具有至少約６０００鎊／平方英寸（ｐｓｉ）的強度的結合被結合到至少含鉬９９．９％的靶上。此外，本發明包括一種將含鎢的材料結合到含鋁的材料上的方法。在含鎢的材料（１０２）和含鋁的材料（１２０）之間設有一層含鉬的材料（１０４），并且含鉬的材料被結合到含鎢的材料（１０２）和含鋁的材料（１２０）上。