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用于基板沉積腔背襯板的多件式絕緣件

申請號/專利號： 200520002795
一種用于基板沉積腔背襯板之多件式絕緣件，其具有：數個絕緣片條，每一絕緣片條具有一第一端及第二端；及每一絕緣片條的第一端與一相鄰絕緣片條的第二端相配合且被接合至該相鄰絕緣片條的第二端，以共同構成一矩形框件。
申請日： 2005年03月18日
公開日：
授權公告日： 2006年05月17日
申請人/專利權人： 應用材料股份有限公司
申請人地址： 美國加利福尼亞州
發明設計人： W?N?斯特林
專利代理機構： 上海專利商標事務所
代理人： 陳亮
專利類型： 實用新型專利
分類號：
C23C16/00;C23C16/513
標簽：襯板    用于基板沉積腔背襯板的多件式絕緣件
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