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連接磁性靶和背襯板的方法以及磁性靶

申請號/專利號： 02825748
本發明提供一種將板厚度變化較小的磁性物質靶連接到背襯板的方法，其特征在于具有以下步驟：事先連接磁性物質靶和鋁板，并保持平坦性，將連接到鋁板的磁性物質靶連接到背襯板上，并保持平坦性，研磨除去鋁板，從而可以保持磁性物質靶的平坦性，直到磁性物質靶通過一個相對簡單的操作連接到背襯板上。
申請日： 2002年11月14日
公開日： 2005年04月13日
授權公告日：
申請人/專利權人： 株式會社日礦材料
申請人地址： 日本東京
發明設計人： 山越康廣
專利代理機構： 中原信達知識產權代理有限責任公司
代理人： 樊衛民 楊青
專利類型： 發明專利
分類號：
C23C14/34
標簽：襯板    連接磁性靶和背襯板的方法以及磁性靶
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