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濺射靶/背襯板接合體

申請號/專利號： 200780024383
一種濺射靶／背襯板組件，其特征在于，在濺射靶／銅－鋅合金制背襯板接合體中，具有在靶中央部的背襯板位置處嵌入有純銅的結構。本發明的課題在于，提供一種不使廉價、強度和抗渦流特性優良的銅－鋅合金背襯板的特性降低、并且可以充分地應對更大功率化的簡便的濺射靶／背襯板結構體。
申請日： 2007年05月02日
公開日： 2009年07月08日
授權公告日：
申請人/專利權人： 日礦金屬株式會社
申請人地址： 日本東京都
發明設計人： 小田國博;福島篤志
專利代理機構： 中原信達知識產權代理有限責任公司
代理人： 樊衛民 郭國清
專利類型： 發明專利
分類號：
C23C14/34;H01L21/285
標簽：襯板    濺射靶/背襯板接合體
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