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物理蒸汽沉積標靶/背襯板組件;以及成形物理蒸汽沉積標靶/背襯板組件的方法

申請號/專利號： 01818120
本發明包括ＰＶＤ標靶／背襯板組件，它包括具有一個表面的ＰＶＤ標靶和在該表面上的粘結層。粘結層具有不同于標靶表面的組成，背襯板被做成與ＰＶＤ標靶表面相隔至少該粘結層。粘結層形成對標靶的牢固擴散粘結。本發明還包括成形ＰＶＤ標靶／背襯板組件的方法。另外，本發明包括一種組件，其中鈦、鋯和銅中一種或多種被結合到物理蒸汽沉積標靶／背襯板組件中標靶與背襯板之間的粘結層中。
申請日： 2001年10月19日
公開日： 2004年05月05日
授權公告日：
申請人/專利權人： 霍尼韋爾國際公司
申請人地址： 美國新澤西州
發明設計人： R?D?科勒;M?S?庫珀
專利代理機構： 中國專利代理(香港)有限公司
代理人： 張元忠 郭廣迅
專利類型： 發明專利
分類號：
C23C14/34;H01J37/00
標簽：襯板    物理蒸汽沉積標靶/背襯板組件;以及成形物理蒸汽沉積標靶/背襯板組件的方法
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