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濺射靶用背襯板

申請號/專利號： 200510114034
一種濺射靶用背襯板包含在２５℃到１００℃溫度下的平均線性膨脹系數為２３．０×１０↑［－６］／℃或以下的鋁合金。這種背襯板防止了和靶結合時出現的翹曲，減小了Ａｌ－Ｎｄ合金薄膜的膜沉積（濺射）時出現的應力，省去了翹曲的矯平處理，減小了安置在靶和背襯板之間的硬釬料的破裂，從而能夠長期進行穩定的膜沉積操作。
申請日： 2005年10月19日
公開日： 2006年04月26日
授權公告日：
申請人/專利權人： 株式會社鋼臂功科研
申請人地址： 日本國兵庫縣
發明設計人： 茂山和基;森元榮一
專利代理機構： 中科專利商標代理有限責任公司
代理人： 陳平
專利類型： 發明專利
分類號：
C23C14/34
標簽：襯板    濺射靶用背襯板
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