本發(fā)明是關(guān)于一種空氣干燥機(jī)的空氣干燥裝置，本發(fā)明是使用加壓／泄壓循環(huán)裝置，以使裝滿干燥劑的第一管體于加壓，產(chǎn)生一段時(shí)間的干燥空氣后，可使干燥空氣輸出供晶圓廠放置晶圓的密閉柜使用，泄壓以使連通二裝滿干燥劑的管體的閥于關(guān)閉先前加壓第二管體內(nèi)部空間，再打開(kāi)另一裝滿干燥劑的第二管體進(jìn)行加壓，并可使干燥空氣輸出供晶圓廠放置晶圓的密閉柜使用，當(dāng)泄壓的空間經(jīng)單向閥的旁通路變成與第一管體內(nèi)部空間壓力相等，當(dāng)?shù)诙荏w內(nèi)部空間于泄壓后，再使第一管體加壓，經(jīng)由第一、第二管體不斷交替使用，可以將干燥空氣不斷輸送至放置晶圓的密閉柜而使用，可達(dá)到零件少與成本低的目的。