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基板的吸引保持方法及使用該方法的吸引保持輸送機(jī)

申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)： 02824681
吸引保持輸送機(jī)，利用吸引并保持載置于工作臺(tái)上的基板（１）的吸引固定部件（６９），對(duì)載置于工作臺(tái)（８４）上的基板（１）進(jìn)行吸引、固定。支持部件（６１），用于支持該吸引固定部件。該吸引保持輸送機(jī)具有距離調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（８２），可在吸引固定部件（６９）上的多個(gè)部位單獨(dú)地調(diào)節(jié)從上述工作臺(tái)表面至吸引固定部件的距離。
申請(qǐng)日： 2002年12月11日
公開日： 2005年03月30日
授權(quán)公告日： 2007年09月05日
申請(qǐng)人/專利權(quán)人： 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
申請(qǐng)人地址： 日本大阪府
發(fā)明設(shè)計(jì)人： 船田秀明;吉村浩昭
專利代理機(jī)構(gòu)： 中國(guó)專利代理(香港)有限公司
代理人： 廖凌玲 楊松齡
專利類型： 發(fā)明專利
分類號(hào)：
B25J15/06;H01L21/677
標(biāo)簽：輸送機(jī)    基板的吸引保持方法及使用該方法的吸引保持輸送機(jī)
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