本發(fā)明涉及一種基板輸送機(jī)，具備：移動工作臺（３２），其在水平方向可移動地配置在基座（１４）上，且在一側(cè)交接基板（Ｇ）時位于一側(cè)；支承裝置（Ｓ），其配置在移動工作臺（３２）上，且具有用于在水平方向可移動地支承基板（Ｇ）的支承區(qū)域；移動裝置（Ｔ），其用于在一側(cè)交接基板（Ｇ），并橫穿一側(cè)的支承區(qū)域的前端而使支承區(qū)域上的基板（Ｇ）在水平方向上移動；立設(shè)在基座（１４）上的支柱（１６）；手部（Ｈ），其在相反側(cè)交接基板（Ｇ），且在與支承裝置（Ｓ）之間交接輸送過程的基板（Ｇ），在水平方向可移動并從上下方向看橫穿支承區(qū)域且可升降地安裝于支柱（１６）上，支承區(qū)域在一側(cè)具有從移動工作臺（３２）露出的延出部。