，德國Zimmermann&SchilpHandhabungstechnikGmbH開發(fā)出了半導(dǎo)體生產(chǎn)工序中能以非接觸方式搬運(yùn)最大300mm晶圓的機(jī)器人用工具“Non-contactWaferGripper”。具體地，就是利用超聲波在工具表面形成一層空氣薄膜，使晶圓漂浮于其上。

可利用工具一側(cè)的超聲波振動(dòng)使工具上方和晶圓下方的空氣薄膜的壓力增大。其原理與空氣軸承相似，但該產(chǎn)品無需以壓縮機(jī)等從外部供應(yīng)高壓空氣。工具和晶圓的距離約在0.05mm～0.5mm之間。

工具翻轉(zhuǎn)時(shí)，不是用超聲波而是用氣泵吸附晶圓。據(jù)介紹，此時(shí)晶圓和工具之間也不接觸，常態(tài)下使周圍空氣流動(dòng)即可形成空氣薄膜。


(源自：中國傳動(dòng)網(wǎng))