化學(xué)機(jī)械CMP研磨冷卻水降溫設(shè)備
產(chǎn)品介紹
1.半導(dǎo)體芯片制造領(lǐng)域，硅晶片表面處理工藝，在曝光的過程中，表面平整才能有效避免光的散射來實(shí)現(xiàn)圖像轉(zhuǎn)移，采用化學(xué)機(jī)械研磨法，能夠?qū)崿F(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)的工藝要求，在半導(dǎo)體芯片的硅晶片制作工藝進(jìn)入到毫米級(jí)后需采用化學(xué)機(jī)械研磨法，使硅晶片表面的平整程度達(dá)到制作的工藝要求。
2. 硅晶片與研磨墊相對運(yùn)動(dòng)過程會(huì)產(chǎn)生摩擦，從而會(huì)使研磨墊的溫度上升。溫度會(huì)升到80℃。研磨墊的溫度范圍30℃～75℃，研磨墊的溫度低于30℃或高于75℃時(shí)，會(huì)使研磨液與硅晶片表面的化學(xué)反應(yīng)特性變差，影響硅晶片表面的平整度，需配置一臺(tái)化學(xué)機(jī)械CMP研磨冷卻水降溫設(shè)備來控制水溫。
3. 化學(xué)機(jī)械CMP研磨冷卻水降溫設(shè)備提供低溫冷水對CMP研磨機(jī)中拋光帶的冷卻裝置降溫，解決了CMP研磨機(jī)使用過程中拋光帶溫度比較高的問題，冷卻裝置包括一個(gè)冷水箱，水泵，冷水箱與拋光帶拋光工作面的接觸.能有效降低工作過程中拋光帶的溫度。
設(shè)備的應(yīng)用
硅晶片雙面化學(xué)機(jī)械CMP研磨拋光自帶的冷卻裝置的降溫是利用化學(xué)機(jī)械CMP研磨冷卻水降溫設(shè)備提供的冷源，調(diào)節(jié)系統(tǒng)和顯示控制系統(tǒng),通過顯示面板即可實(shí)時(shí)監(jiān)測工作溫度，冷卻水沿冷卻通道對下磨盤進(jìn)行冷卻,有效地控制了硅晶片的加工溫度,提高了硅晶片CMP研磨拋光的表面質(zhì)量,降低了硅晶片碎片率。
產(chǎn)品優(yōu)勢
化學(xué)機(jī)械CMP研磨冷卻水降溫設(shè)備作為化學(xué)機(jī)械CMP研磨過程中研磨拋光的溫度控制系統(tǒng)，通過控制拋光的溫度使得硅晶片在拋光程中的溫度得到控制，良品率等保持在理想狀態(tài)，延長研磨拋光的使用時(shí)間，有效提高硅晶片的平整性和穩(wěn)定性.
產(chǎn)品特點(diǎn)
標(biāo)準(zhǔn)型：智能控制水溫5～30℃±1，
非標(biāo)定制型：智能控制水溫 -50～85℃±0.3；控制水流1～1000L±0.03L；控制壓力0.1～10±0.04Mpa
智能控制系統(tǒng)：PCL、觸摸屏，，數(shù)據(jù)采集，RS485接口，選配 CAN通信總線，以太網(wǎng)接口遠(yuǎn)程控制，可連接上位機(jī)及手機(jī)APP控制。
保護(hù)功能：電源相序保護(hù)裝置、漏電保護(hù)裝置、壓縮機(jī)過載保護(hù)裝置、電圈過熱保護(hù)裝置、高低壓保護(hù)裝
置、缺水保護(hù)裝置、冷凍水流保護(hù)裝置、防凍保護(hù)裝置。
售后服務(wù)
為創(chuàng)造品牌，樹立企業(yè)形象，我們本著“一切追求質(zhì)量，用戶滿意為宗旨”的精神，以“優(yōu)惠的價(jià)格、周到的服務(wù)、可靠的產(chǎn)品質(zhì)量”的原則向您作出以下鄭重承諾：
1、買方使用部門可以到我司進(jìn)行免費(fèi)設(shè)備操作培訓(xùn)；
2、使用三個(gè)月后，我司客服部會(huì)對設(shè)備的使用狀況回訪；
3、我司所有設(shè)備，免費(fèi)保修一年，質(zhì)保期內(nèi)，所需零配件的及維修均我司承擔(dān)；但設(shè)備非正常損壞均不屬保修范圍，買方應(yīng)支付所產(chǎn)生的更換零配件、路費(fèi)、食宿費(fèi)用。
4、根據(jù)消費(fèi)者要求，免費(fèi)上門調(diào)試及有關(guān)使用等方面的技術(shù)指導(dǎo)
5、免費(fèi)保修期外，當(dāng)設(shè)備損壞時(shí)買方需支付所更換配件費(fèi)用（按材料采購成本計(jì)價(jià)）；
6、確保設(shè)備零配件的供應(yīng)，可簽終身維修服務(wù)協(xié)議，負(fù)責(zé)產(chǎn)品終身維修服務(wù)。
7、接到客戶電話及“設(shè)備故障通知書”后，通過遠(yuǎn)程維護(hù)，如維護(hù)不了廣東范圍內(nèi)24小時(shí)之內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場處理，廣東省以外72小時(shí)之內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場處理。
組技術(shù)參數(shù)
|
型號(hào)
Model
|
制冷量
Refrigerati
ng capacity
|
壓縮機(jī)
Compressor
|
蒸發(fā)器
Evaporator
|
冷凝器
Condenser
|
水泵
water pump
|
外型尺寸
Shape dimension
|
|
kcal/h
|
kw
|
kw
|
hp
|
L
|
inch
|
m3/h
|
m3/h
|
kw
|
mpa
|
cm
|
|
JRW-10
|
24940
|
29
|
7.5
|
10
|
160
|
2"
|
6
|
10000
|
1.5
|
0.18
|
148×70×168
|
|
JRW-12
|
29928
|
34.8
|
4.5×2
|
12
|
170
|
2"
|
7.2
|
12000
|
1.5
|
0.18
|
150×70×173
|
|
JRW-15
|
37410
|
43.5
|
5.5×2
|
15
|
200
|
2"
|
9
|
15000
|
1.5
|
0.18
|
160×75×190
|
|
JRW-20
|
49880
|
58
|
7.5×2
|
20
|
300
|
2"
|
12
|
|
|
| 聯(lián)系人： |
李大紅 |
|
| 聯(lián)系電話： |
086-0755-29084657 |
|
| 手機(jī)： |
15889567386 |
|
| 傳真： |
086-0755-29084632 |
|
| 聯(lián)系地址： |
深圳市寶安區(qū)松崗街道塘下涌工業(yè)大道16號(hào) |
|
| 電子郵箱： |
nine-wells@hotmail.com |
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| 注意： |
聯(lián)系我時(shí)請說明是在“環(huán)球破碎機(jī)網(wǎng)”上看到的信息 |
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